Hur man beräknar Misalignment i anisotrop etsning

Identifiera felaktig inriktning - eller obalans av celler - i anisotrop etsning kräver en beräkningsmetod som kallas " tidskompensation. " Detta kan ses när du lösa en algoritm som används vid simulering etsningsprocessen av kisel i en EDP ​​, KOH eller TMAH lösning . När Cellular Auto (CA) förfarande för etsning simulering används är substratet representeras av enskilda celler som ingår insidan av en kristallin gitterstruktur . Instruktioner
en

Skriv ut ekvationen för att bestämma antalet i etsningssteg . Detta uttrycks som N (t) = [M /E ( s) T ] t . Ett standardvärdet 1 används för T. Värdet på M är en multipel av E ( s ) T. Värdet på E (s) är [0,1] .
2

Skriv ut ekvationen för att bestämma den ekvivalenta etshastighet av ytmaterialet . Detta uttrycks som : .

E (s) = M /N (t) T = M /(M /E (n) T) T = E ( er) från p Om M är inte en multipel av E (s ) T , då en obalans kommer att uppstå på grund av att etsningen av nästa cell inte startar omedelbart . Addera 3

anteckna för " k ", som används för att identifiera ett etsningssteg . Nästa etch steg i processen är märkt som k + 1 . Notera tiden balansen för en etsningsstegsom Tb ( k ) .
4

Skriv ut ekvationen används för att beräkna tidskompensation. Denna ekvation uttrycks som :

M ( k )> E ( s) (T + Tb (k- 1 ) katalog

sedan

T ( k) = T + Tb (k- 1 ) katalog

M ( k- 1 ) = M ( k) - E (s ) T ( k ) katalog

Tb (k) = 0

annanstans

T ( k) = M ( k) /E ( s ) katalog

M ( k +1) = 0

Tb ( k ) = T - T ( k ) katalog

Slutresultatet av de tidskompensationsmetodenger i en ekvation som uttrycks som:

E ( s) = M ( k ) /T (k) = E (n) för ett etsningsstegk Addera