Placera underlaget på spin - beläggnings chuck . Med hjälp av en pipett , placera tillräckligt SU8 2002 stå på underlaget för att helt täcka det . Programmera spinnbeläggarenatt spinna vid 500 varv per minut under 10 sekunder och sedan 2000 varv per minut under 30 sekunder. Tillverkaren Specifikationsblad säger att detta skulle leda till en motstå tjocklek på 2,4 mikrometer .
2
Ta provet från spinn - bestrykare och placera den på en varm platta inställd på 95 grader Celsius eller 203 grader Fahrenheit . Låt provet på värmeplattan i två minuter . Ta prov och låt svalna i fem minuter . Addera 3
Placera fotomaskeni mask Aligner . Placera provet under masken . Exponera provet . Avlägsna provet från maskriktanoch placera det i en bägare av utvecklare för en minut. Efter framkallning , skölj prov i isopropylalkohol . Provet kommer nu att bestå av en serie mönstrade gropar , som koppar kan sättas in för att avsluta kretskortet .
4
Placera en pellet av koppar in i förångningskammaren degeln . Pumpa ner förångningskammaren till ett tryck av ca 10 ^ -6 mbar eller 10 ^ -4 pascal . Avsätta den önskade tjockleken av koppar. Avlägsna provet från förångaren. Placera provet i en bägare med aceton. Detta avlägsnar den återstående SU8 motstå, och lämnar de kopparspår . Skölj provet i en bägare av IPA . Kretskortet är klar Addera