DIY RF Koppling Plasma

Atomer bestå av en positivt laddad kärna omgiven av ett moln av negativt laddade elektroner. Ibland atomer kan vinna eller förlora elektroner , vilket leder till att de förvärvar en netto positiv eller negativ laddning . En atom med en nettoladdning som är känt som en jon . Plasma är ett moln av joner , och dessa kan ha ett antal användningar i den halvledande processindustrin. En plasma kan produceras inom en Argon fylld vakuumkammare med en strömkälla som genererar radiofrekvens (RF) radiation.Things du behöver
RF vakuumkammare med Argon massflödesregulator
Rotary pump
Turbopump
RF strömförsörjning
RF anpassningsnät
2 RF-kablar
Visa fler Instruktioner
1

Slå på den roterande pumpen och vänta på att trycket på komma till 10 ^ -3 millibar . Slå på turbopumpen, och vänta på att rampa upp . Vänta till dess att ett tryck av ca 10 ^ -6 millibar nås.
2

Anslut en RF- kabel mellan RF- anpassningsenhet och RF-effektförsörjning . Anslut en annan kabel mellan RF- matchningsenhetenoch RF vakuumkammarelektroduttag . Addera 3

Delvis nära ventilen till turbopumpen. Sätt på Argon massflödesregulator, och ange ett tryck på 15 millibar . Slå på RF- strömförsörjningen och anpassningsenhet . Ställ en frameffekt på 50 watt . Den matchande enheten hörs som den försöker att minimera den reflekterade RF-effekten. När den reflekterade effekten är mindre än en procent av den frameffekt, öka frameffekten till cirka 150 watt. Plasman i kammaren ska tändas , och vara synlig även kammar vy - port . Sakta sänka frameffekten tillbaka till 50 watt . RF par plasma skapas . Addera