Hur man tar bort Plasma Etch Polymer

När en kemist eller elektriker vill ändra de kemiska och fysikaliska egenskaper av ytan av en integrerad krets rån, är det känt som plasmabehandling. En form av denna bearbetning kallas plasmaetsning , som använder en glödurladdning (sk plasma) från en specifik gas. Urladdningen släpps som pulser i en ström med hög hastighet direkt på en provkrets. Källan till plasma , sk etch arter , kan ta en av två egenskaper - laddade , vilka klassificeras som joner eller neutrala , som består av atomer och radikaler . Som etsningsBearbetningen börjar, kommer urladdningen strömmas på krets skapa flyktiga etsningsrestersom ett resultat av den kemiska reaktionen mellan det etsade materialet och etsnings arter skapas av plasmat. De fysikaliska och kemiska egenskaperna hos kretsen så småningom byts vid atomerna från plasmaströmmenfäster eller tränga in i ytan . Beroende på den gas som används för plasmaströmmen , kan plasmaetsning polymeren bildas som en återstod efter process.Things Du behöver
Integrated wafer kretsar
plasmaetsning polymer remover ( PRX- 127 ) katalog kraftiga skyddshandskar
Kirurgiska mask
Skyddsglasögon eller skyddsglasögon
Stripp tankar
Avjoniserat ( DI ) vatten sköljtanken
spin torktumlare eller spin- skölj tork
Visa mer instruktioner
1

plasma etch polymer kommer sannolikt att bildas efter med plasmaetsning behandling med fluorkarbonbaseradegaser såsom koldioxid hydrotrifluoride och oktafluorpropan . Dessa gaser skapar omättade föreningar i plasma , som sedan överförs till den integrerade kretsskivor . Dessa måste tas bort för att ytterligare plasmabehandlingför att fortsätta .
2 Ta extrem försiktighet kring farliga kemikalier .

Plasma etch polymer remover , känd som PRX - 127 , är en kemisk förening som består av delar av eter , sulfoxid och hydroxid , och är extremt farligt att andas in eller beröring . Det rekommenderas att innan du försöker använda denna produkt , bör handskar , glasögon och mask bäras . En våt - bänk nedsänkning process är en av de säkrare sätt att hantera denna förening , och kräver väldigt lite fysisk interaktion . Addera 3

Fyll två stripp tankar som är särskilt utformade för en våt - bänk processen med PRX- 127 -lösning och sätta till en temperatur av 70 till 90 grader Celsius. Placera de påverkade kretsskivorförsiktigt i en av tankarna använda skyddshandskar . Rånen ska stanna i lösningen i minst fem minuter , men inte längre än 20 minuter för optimal effekt . En mekanisk eller ljudbaseradagitation metoden rekommenderas under den första badet .
4

Överför skivor från den första stripp tanken till den andra när badet cykeln är klar , och njuta rån igen för fem till 20 minuter utan ytterligare omröring. Denna andra bad tar bort befintliga lager av polymer under återstoden på ytan av skivan .
5 Avjoniserat vatten är helt rent vatten , med inga andra mineraler .

Bort brickorna från PRX - 127 -lösning och överföra dem till en tredje tank fylld med SVC - 300 skölj , en lösning som används främst för färgborttagning . Det är ganska säkert att använda eftersom den är giftfri och ej brandfarlig och skadar inte rån . Rånen ska stanna i denna lösning i två till tre minuter . Överför rån i en slutlig lösning - avjoniserat vatten - i en sköljtankför sex till åtta gånger och sedan använda en spin hårtork eller spin - skölj tork för att avlägsna alla spår av lösningen . Rånen ska vara helt fri från polymerer , och är nu säkert att användas igen för vidare plasma etsat bearbetning . Addera